“芯”潮澎湃：荷兰进口光刻机来了，上海清关

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。在高端光刻机领域，阿斯麦公司有着全球约90%的市场份额，台积电、三星、英特尔等国际半导体巨头都是其客户。中国芯片企业相继从荷兰寻求进口高端光刻机，加强自主晶圆制造，暗下决心要在芯片领域做出一番成绩。

中华芯片制造梦--ASML向华虹六厂交付的一台193nm双级沉浸式光刻机入驻上海浦东新区。黄色的大吊车和四根缆绳上的大红花，在浦东机场清关，顺利运到工厂交付使用。海关对进口高精设备成立专门查验团队，第一时间卫生检疫、消毒，核对报关资料，快速办理通关手续。

此次进口的荷兰光刻机还不是国际最尖端工艺装备，以往中国要想获得一台最先进的ASML光刻机，简直难比登天。在目前中国大陆集成电路生产线上比较先进的浸没式光刻机，在国内半导体加工行业属于第二梯队，距离世界一流还有较远的路要走。

我国芯片工艺起步较晚，路要一步一步走，饭要一口一口吃。目前国内技术最先进的晶圆加工厂中芯国际28nm已经量产，14nm今年下半年量产。在封装上已基本追上世界水平，但在设计方面还要5-10年，在制造、存储器和代工领域需要10-15年，在设备/材料领域需要10-20年才能赶超世界水平。